靈活而緊湊的基于激光的測量系統(tǒng)，可以高速測量表面和檢查關(guān)鍵尺寸。

談到計(jì)量和檢測，很少有設(shè)備有現(xiàn)代激光系統(tǒng)那樣的萬能件。快速、非接觸式的激光技術(shù)可以在零件上測量許多點(diǎn)而不產(chǎn)生變形或留下痕跡。

AutomatedPrecisionInc.（API）出品的5或6維激光系統(tǒng)，顯示出由激光測量系統(tǒng)可以達(dá)到的獨(dú)特性能的種類。由該公司設(shè)計(jì)的系統(tǒng)，是以一個(gè)精密干涉儀的5或6維傳感器為基礎(chǔ)用來測量CNC機(jī)床和坐標(biāo)測量機(jī)的定位精度。干涉儀發(fā)送的激光光束進(jìn)入傳感器，然后分為三個(gè)分光束。第一個(gè)分光束將返回光源，以進(jìn)行線性位移測量，第二個(gè)分光束進(jìn)入雙向傳感器以測量水平和垂直方向的不直度誤差。第三個(gè)分光束通過一個(gè)光學(xué)結(jié)構(gòu)，測量偏轉(zhuǎn)和仰俯。由一個(gè)集成的微分激光系統(tǒng)來測量轉(zhuǎn)動角偏差。

用戶可以在機(jī)床的一個(gè)坐標(biāo)軸上（如X軸）安裝6維激光器，可同時(shí)測量所有的六個(gè)坐標(biāo)軸的誤差。

API的MikeGlossinger說，“如果您是在普通機(jī)床上測量，則Y軸應(yīng)該與X軸成90°。將激光器定位好，如定位在X軸上，插入一個(gè)五棱鏡，讓光束折彎至Y軸上，折彎度正好為90度。”激光器保持靜止，只有6維傳感器移動對Y軸進(jìn)行測量。利用從X和Y軸上取得的不直度數(shù)據(jù)，測量器上的專利軟件可以確定每個(gè)坐標(biāo)軸在測試平面中的走向并計(jì)算其垂直度。

三軸機(jī)床上的每個(gè)軸都有6個(gè)可能的位置誤差：軸移動定位誤差；在垂直于移動軸的軸方向上的直線度誤差和三個(gè)角度誤差（轉(zhuǎn)動、俯仰、偏轉(zhuǎn)）。此外，機(jī)床三個(gè)相互垂直的平面生成的正方度誤差。
通過三次安裝和三次測量操作，系統(tǒng)可以確定機(jī)床上17個(gè)軸誤差和兩個(gè)正方度誤差。API現(xiàn)有的轉(zhuǎn)動傳感器不能測量垂直軸的轉(zhuǎn)動。在5次安裝和操作中，系統(tǒng)可以確定21個(gè)可能誤差中的20個(gè)。

Glossinger說，“我們可以在約4-5小時(shí)內(nèi)對一臺機(jī)床進(jìn)行完整的分析。”他相信，由像API的5或6維系統(tǒng)收集的數(shù)據(jù)，為機(jī)床制造廠提供達(dá)到新的精度水準(zhǔn)的機(jī)會。“最終，機(jī)床制造廠在補(bǔ)償方面要做的事情將比只在純直線度方面要做的事情要多。在當(dāng)今，他們試圖用很好的機(jī)械方法制造系統(tǒng)，但是留給他們的恰好是無法修正的小誤差。現(xiàn)在，通過某些補(bǔ)償，我們可以把機(jī)床做得更好（更確切地說是性能價(jià)格比）。”
在更一般的場合，由Mitutoyo（MIT）Corp.出品的激光千分尺在連續(xù)過程中證實(shí)了激光的測量方法的速度和精度。這些系統(tǒng)將激光光束對準(zhǔn)一個(gè)旋轉(zhuǎn)的反射鏡。當(dāng)反射鏡自轉(zhuǎn)時(shí)，激光束射向一個(gè)光電單元。該單元的輸出量隨達(dá)到其上的光束量大小成正比地發(fā)生變化，使系統(tǒng)可以確定位于單元和激光之間的工件的直徑。常用的MTI激光千分尺如Series544，對于直徑為1mm~51mm的工件，其精度約為±0.0030mm，重復(fù)精度約為±0.00013mm。

MTI的DaleSchauer說，“一些制造廠采用He—Ne管作為激光光源，但我們卻采用二極管，因?yàn)槠涫褂脡勖L。有些He—Ne管其使用壽命超過600h，但采用激光二極管，有時(shí)候，其壽命竟超出7000h。”激光千分尺往往作為較大型系統(tǒng)的一個(gè)組成部分加以使用。Schauer觀察到，“有一半以上激光器是深藏在某些講師儀器的過程控制部分中。”當(dāng)今的激光千分尺還具備增強(qiáng)的功能度。“與舊裝置相比，它們具備更多的編程控制能力以及更快的輸出能力。”

在線測量時(shí)，用戶仍然要注意零件的清潔度和粗糙度。Schauer警告說：“一層油或水基冷卻液的薄膜其厚度可能達(dá)十分之幾毫米。此外，您還要受到表面粗糙度的某種影響。這些裝置中某些分辨力只有0.5μm。此外，零件的找正很關(guān)鍵。任何微量傾斜都將引起錯(cuò)誤的讀數(shù)。任何粘在零件上的東西均可能影響測量結(jié)果。”

他不同意激光的測量比機(jī)械式或機(jī)電式測量要貴的觀點(diǎn)。“如果說到用機(jī)械系統(tǒng)測量撥絲模之間的絲流，則必須制造某各軋輥系統(tǒng)，而這種系統(tǒng)并不便宜。對于激光系統(tǒng)，如果產(chǎn)品是圓的，您可能采用一個(gè)X—Y調(diào)整。每個(gè)送